Exhaust pressure Reduction Module Load lock
압축 유체를 이용하여 직접 진공을 발생시키는 간단한 장치이며, Load lock pump의 Exhaust Line에 설치하여 배기 압력을 감압하여 진공펌으의 소비 전력을 절감하는 장치입니다.
ERM-PHK
Exhaust pressure Reduction Module Process Hot Kit
압축 유체를 이용하여 직접 진공을 발생시키는 간단한 장치이며 Process pump의 Exhaust Line에 설치하여 배기 압력을 감압하여 진공펌프의 소비 전력을 절감하는 장치입니다.
HOT N2 THS-40
Towin Hot N2 System NW-40
압축된 유체(AIR or N2)를 Heating gas source를 이용하여 주변 공기를 대량으로 이송하여 Pump Exhaust Line의 P.M 주기 향상을 위한 장치입니다.
Metal Bellows
풀림방지 밸브
반도체 또는 LCD LINE 등의 초진공을 요하는 곳에 광범위하게 사용하는 PART
