투인텍(주)
압축 유체를 이용하여 직접 진공을 발생시키는 간단한 장치이며 Process pump의 Exhaust Line에 설치하여 배기 압력을 감압하여 진공펌프의 소비 전력을 절감하는 장치입니다.
압축 유체를 이용하여 직접 진공을 발생시키는 간단한 장치이며, Load lock pump의 Exhaust Line에 설치하여 배기 압력을 감압하여 진공펌으의 소비 전력을 절감하는 장치입니다.
압축된 유체(AIR or N2)를 Heating gas source를 이용하여 주변 공기를 대량으로 이송하여 Pump Exhaust Line의 P.M 주기 향상을 위한 장치입니다.
Toxic Gas Cylinder Botttle 교체 시 Human Error로 인한 안전사고를 방지하기 위한 장치
Fitting Leak 방지용 Jig 기계적 연결부 Fitting Leak 방지 및 눈관리 장치 GAS LEAK 방지
