ERM-PHK Exhaust pressure Reduction Module Process Hot Kit
본문
압축 유체를 이용하여 직접 진공을 발생시키는 간단한 장치이며 Process pump의 Exhaust Line에 설치하여 배기 압력을 감압하여 진공펌프의 소비 전력을 절감하는 장치입니다.
특징
- Exhaust Line의 Powder 누적 감속
- 반도체 및 LCD Process Pump 전력 절감 (항시 10% 이상 절감)
- 유지보수 비용 절감 및 설비 생산성 향상
- 배관내의 산화물 생성 억제
- 설비 P.M 주기 향상
