ERM-L Exhaust pressure Reduction Module Load lock
본문
압축 유체를 이용하여 직접 진공을 발생시키는 간단한 장치이며, Load lock pump의 Exhaust Line에 설치하여 배기 압력을 감압하여 진공펌으의 소비 전력을 절감하는 장치입니다.
특징
- Compact Size로 배기단 적용 용이
- 반도체 및 LCD Load Pump 전력 절감 (Idle 기준 50% 이상)
- 별도 전력 없이 얍축 유체로만 작동
- 반영구적 제품 (유지보수가 없음)
